该晶圆造成厂属于西北的地方,注意产出8英尺光电器件晶圆,单日污水摆放量上涨约800吨。犹豫产出的时候中使用的海量氢佛酸展开晶圆蚀刻,造成污一般的水都氟化物浓度值高达hg200-300mg/L,远超各国摆放标准单位(10mg/L接下来)。
废水处理材料及来源于
废液主要是出自于几个要素:
晶圆蚀刻步骤
:含高盐浓度氟化物(HF)、硝酸银及大量天价属
检查是否自动化设备增加光泽(CMP)焦化废水
:含纳米级级硅科粒、无机络合剂
机械设备刷洗污废水
:含异丙醇、化学需氧量等生产物
处里加工过程生产流程
用到"化学上的水解自己+混疑水解自己+广度滤出"三级考试整理体系:
两级治理
:污泥脱水氯化钙和氢氧化的钙,生成氟化钙沉淀自己,氟化物除去率达85%
二级考试正确处理
:增加PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),清掉电解质溶液态污染破坏物
三级分销外理
:在多媒介过滤系统器和渗透性炭离心分离,满水后氟化物浓度值相对稳定在8mg/L下面的
至关重要仪器是指:pH自動调高整体、斜管沉垫池、板框板框压滤机(厌氧颗粒污泥缺水)。
结果是成果
大型项目运动两年监测站数据信息显现:
氟化物评均氧浓度:7.2mg/L(超过的国家原则)
COD删去率:92%
污泥处理含水分率:≤65%
年收售氟化钙副好产品约150吨,实现目标产品化通过