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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8寸大晶圆工作线配套方案的超超纯水设备,一整天存在含硅生活污水150吨。生活污池中虽无血本属,但硅分量高易积垢,且热敏电阻率需达成18MΩ·cm能力工业品废水处里。本来的处里工艺设备是无法做到新废止的《光学工业品水污染问题物排污原则》(GB39731-2020)格外排污卫生防护距离。 生活污水组分优点 常见感染物 :橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(粒度分布0.1-1μm) 异常条件 :TOC<10μg/L,硼纯度<5μg/L 水的质量性能指标 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅氧化物性状麻烦 治疗工艺技术方案 的创新适用"梯级膜转移+电去正离子"搭档生产技术: 微滤预办理 :1μm瓷质膜电话拦截大颗粒肥料硅,通量提升80LMH 阳离子对调树脂胶 :D201大孔聚酯树脂选泽性降解硅酸碳原子 三级RO系統 :首要段收集率60%,第二名段按照高脱硼膜器件 EDI电去化合物 :直流电压体积2A/m²,持继去掉稳定度阳离子 紫外光消毒 :254nm紫外线灭菌灯线用量40mJ/cm² 技能闪光点 搭建使用阻硅剂(有机的胺类复合型物),减慢膜严重污染周期时间3倍 EDI控制模块的创新流道设计制作,硅除掉率完善至99.8% 在线免费硅探讨仪(測量范围之内0.1-500μg/L)确保靶向设定 运动预期效果 经3.方检则: 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含铁从8μg/L降为0.3μg/L 平台收回率从原40%提高自己至68% 膜调换的周期廷长至5年,年执行价格降低35%

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